[发明专利]一种基于等离子体天线的电离腔体的制备方法有效
| 申请号： | 201811245064.2 | 申请日： | 2018-10-24 |
| 公开（公告）号： | CN109168244B | 公开（公告）日： | 2021-03-09 |
| 发明（设计）人： | 孙简;陈涛;谢义方;吴逢时;孙海龙;梁志伟;鉴福升;王乃全;董伟;罗静;罗福山;张华伟 | 申请（专利权）人： | 中国科学院国家空间科学中心 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 北京方安思达知识产权代理有限公司 11472 | 代理人： | 陈琳琳;王宇杨 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种基于等离子体天线的电离腔体的制备方法，等离子天线包括：耦合腔体(2)和电离腔体(1)；所述电离腔体(1)是容纳有低压惰性气体的两端封闭的空心柱状的绝缘介质腔体；耦合腔体(2)是用于固定电离腔体(1)；其包括：步骤1)获取电离腔体的几何参数；所述几何参数包括：电离腔体的内径，电离腔体的外壁厚度、电离腔体的长度；步骤2)获取电离腔体内填充的惰性气体的气体参数；所述气体参数包括：惰性气体的气体压强和气体种类；步骤3)获取电离腔体的射频参数；所述射频参数包括：激励功率和信号频率；步骤4)根据步骤1)‑步骤3)获得的几何参数、气体参数、射频参数，获得电离腔体。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 等离子体 天线 电离 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于等离子体天线的电离腔体的制备方法，其特征在于，等离子天线包括：耦合腔体(2)和电离腔体(1)；所述电离腔体(1)是容纳有低压惰性气体的两端封闭的空心柱状的绝缘介质腔体；耦合腔体(2)是用于固定电离腔体(1)；该方法具体包括：步骤1)获取电离腔体的几何参数；所述几何参数包括：电离腔体的内径，电离腔体的外壁厚度、电离腔体的长度；步骤2)获取电离腔体内填充的惰性气体的气体参数；所述气体参数包括：惰性气体的气体压强和气体种类；步骤3)获取电离腔体的射频参数；所述射频参数包括：激励功率和信号频率；步骤4)根据步骤1)‑步骤3)获得的几何参数、气体参数、射频参数，获得电离腔体。
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