[发明专利]钽酸锂单晶体衬底、粘结衬底、粘结衬底的制造方法、和使用粘结衬底的表面声波器件在审
| 申请号： | 201811245902.6 | 申请日： | 2018-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN109698266A | 公开（公告）日： | 2019-04-30 |
| 发明（设计）人： | 丹野雅行;阿部淳;加藤公二;桑原由则;永田和寿 | 申请（专利权）人： | 信越化学工业株式会社 |
| 主分类号： | H01L41/09 | 分类号： | H01L41/09;H01L41/22;H01L41/18;H01L41/187;C04B37/00;C30B29/30;C30B31/02;C30B33/04;C30B33/06;H03H9/02 |
| 代理公司： | 中国专利代理(香港)有限公司 72001 | 代理人： | 郭煜;周齐宏 |
| 地址： | 日本东京都千*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 钽酸锂单晶体衬底是具有36°Y‑49°Y切向的晶体取向的旋转Y切向LiTaO3单晶体衬底，其特征在于：所述衬底从其表面向其一定深度中用Li扩散，使得所述衬底具有展示出在所述衬底表面与所述衬底的所述深度之间的Li浓度差异的Li浓度分布；并且所述衬底以单偏振处理进行处理，因此所述Li浓度从所述衬底表面到相当于在LiTaO3衬底表面中传播的表面声波或泄漏表面声波的波长的5‑15倍的深度是大致上一致的。 | ||
| 搜索关键词： | 衬底 衬底表面 粘结 钽酸锂单晶体 切向 表面声波器件 泄漏表面声波 表面声波 晶体取向 浓度差异 浓度分布 单晶体 单偏振 波长 扩散 传播 展示 制造 | ||
【主权项】：
1.一种制造粘结衬底的方法，所述方法包括：将基底衬底粘结到LiTaO3单晶体衬底，所述LiTaO3单晶体衬底具有浓度分布，其中Li浓度在衬底表面与所述衬底的内部分之间是不同的，并且其中Li浓度在范围是从所述衬底的表面中的至少一个到一定深度的区部中是大致上一致的；以及以使得其中所述Li浓度大致上一致的所述区部的至少部分留下的方式移除与粘结面相反的LiTaO3表面层。
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