[发明专利]一种去除干膜的方法在审
| 申请号： | 201811248671.4 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109270808A | 公开（公告）日： | 2019-01-25 |
| 发明（设计）人： | 罗明;雷志紅 | 申请（专利权）人： | 健鼎（湖北）电子有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/42 | 分类号： | G03F7/42 |
| 代理公司： | 北京天奇智新知识产权代理有限公司 11340 | 代理人： | 杨文录 |
| 地址： | 433000 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明提供一种去除干膜的方法，包括使用特定浓度乙醇胺稀释液去除干膜，降低去膜液体表面张力，使干膜裂解、剥离进而除去干膜，去除率高，同时可避免对基板金属的氧化，不良率低，工艺简单易操作，可适用于现有技术中多种干膜，具有良好应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 干膜 去除 浓度乙醇 不良率 对基板 稀释液 裂解 去膜 剥离 金属 应用 | ||
【主权项】：
1.一种去除干膜的方法，其特征在于：以乙醇胺稀释液去除覆盖于基板的干膜。
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