[发明专利]基于电涡流测量的自适应变形镜子孔径控制设备在审
| 申请号： | 201811248863.5 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109239911A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 左恒;郭世成;李国平 | 申请（专利权）人： | 中国科学院国家天文台南京天文光学技术研究所 |
| 主分类号： | G02B26/06 | 分类号： | G02B26/06;H02P25/034 |
| 代理公司： | 江苏致邦律师事务所 32230 | 代理人： | 栗仲平 |
| 地址： | 210042 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 基于电涡流测量的自适应变形镜子孔径控制设备，被控制的超薄镜面与基板分离，永磁体胶结在超薄镜面的背面，该永磁体使用音圈电机驱动，特征是驱动该音圈电机的传感器采用电涡流微位移传感器。其结构是：在永磁体背面胶结一片目标导体；铜线圈固定在所述基板上的圆孔中，该铜线圈的顶面与基板上表面平齐，线圈中孔内安装电涡流传感器的探测线圈，传感器探测线圈和电机驱动线圈都固定安装在基板孔内部的金属支撑结构上。本发明结合电磁力驱动镜面的高带宽快速响应优势和电涡流位移测量的高空间分辨率和高测量带宽的优势，同时测量不受环境影响，能克服目前大口径自适应变形镜面临的最大问题，同时能达到很好的控制效果。 | ||
| 搜索关键词： | 电涡流 永磁体 测量 孔径控制 音圈电机 铜线圈 自适应 胶结 背面 变形 镜子 电涡流位移测量 电机驱动线圈 电涡流传感器 高空间分辨率 金属支撑结构 微位移传感器 传感器探测 电磁力驱动 基板上表面 驱动 镜面 环境影响 基板分离 控制效果 快速响应 目标导体 探测线圈 变形镜 高带宽 基板孔 传感器 大口 顶面 基板 平齐 圆孔 带宽 | ||
【主权项】：
1.一种基于电涡流测量的自适应变形镜子孔径控制设备，被控制的超薄镜面与基板分离，永磁体胶结在超薄镜面的背面，该永磁体使用音圈电机驱动，其特征在于，驱动该音圈电机的传感器采用电涡流微位移传感器。
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