[发明专利]TSV成品界面残余应力测试方法及界面梁结构试样制作方法有效
| 申请号： | 201811250428.6 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109297627B | 公开（公告）日： | 2021-07-27 |
| 发明（设计）人： | 陈思;王之哲;周斌;付兴;陈媛;黄云;恩云飞 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G01N1/28 | 分类号： | G01N1/28;G01L5/00 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 周清华 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本申请涉及一种TSV成品界面残余应力测试方法及界面梁结构试样制作方法。TSV成品界面残余应力测试方法包括：获取悬臂梁结构试样的长度和第一翘曲量；悬臂梁结构试样为截断界面梁结构试样得到；获取在悬臂梁结构试样的固定端上去除预设尺寸的材料层时、悬臂梁结构试样的第二翘曲量；根据悬臂梁结构试样的长度、第一翘曲量、第二翘曲量和预设尺寸，得到对应材料层的残余应力，从而本申请TSV成品界面残余应力测试方法通过在取自TSV成品的悬臂梁结构试样上去除不同尺寸的材料层后所产生对应的翘曲量，来实现准确测量界面梁结构试样不同位置的残余应力，准确地测量TSV成品的不同位置的残余应力，进而为改进TSV成品的TSV工艺，提高良率和可靠性提供良好支持。 | ||
| 搜索关键词： | tsv 成品 界面 残余 应力 测试 方法 结构 试样 制作方法 | ||
【主权项】：
1.一种TSV成品界面残余应力测试方法，其特征在于，包括：获取悬臂梁结构试样的长度和第一翘曲量；所述悬臂梁结构试样为截断界面梁结构试样得到；获取在所述悬臂梁结构试样的固定端上去除预设尺寸的材料层时、所述悬臂梁结构试样的第二翘曲量；根据所述悬臂梁结构试样的长度、所述第一翘曲量、所述第二翘曲量和所述预设尺寸，得到对应所述材料层的残余应力。
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