[发明专利]感光性树脂组合物

摘要

提供显影残膜率较高且为高感光度，显影后的表面均匀的感光性树脂组合物。还提供由该感光性树脂组合物形成的一种固化膜。一种正型感光性树脂组合物，其含有：(a)以下述通式(1)表示的结构单元作为主要成分的聚合物(式中，R₁和R₂分别独立地表示碳数2～60的2价～8价的有机基团，R₃、R₄、R₅以及R₆分别独立地表示氢原子或碳数1～20的1价的有机基团，d和e分别独立地为0～2的整数且不同时为0，f和g分别独立地为0～4的整数，且n为正整数)；(b)二叠氮基醌化合物；以及(c)特定结构的酚醛树脂。

主权项

1.一种固化膜，其为含有选自由聚酰亚胺和聚苯并噁唑组成的组中的至少1种树脂和酚醛树脂的固化膜，该固化膜在下述条件下的干法蚀刻处理后，使用原子力显微镜(AFM)进行测定时，具有0.5～5.0nm的算术平均表面粗糙度，所述条件为等离子体种类：微波处理气体：O2处理时间：60秒。