[发明专利]非平行可动电极厚度测量方法、装置以及系统有效
| 申请号： | 201811250577.2 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109373914B | 公开（公告）日： | 2020-08-04 |
| 发明（设计）人： | 黄钦文;董显山;朱军华;恩云飞;王蕴辉 | 申请（专利权）人： | 中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）） |
| 主分类号： | G01B11/06 | 分类号： | G01B11/06 |
| 代理公司： | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 周清华 |
| 地址： | 511300 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本申请涉及一种非平行可动电极厚度测量方法、装置以及系统。所述方法包括：获取静电换能器的可动电极，在各偏置电压下分别对应的角度偏移量和极间距离；角度偏移量为可动电极在偏置电压下转动的角度；极间距离为可动电极的第一端面与静电换能器的固定电极的第一端面之间的最大距离；可动电极的第一端面远离固定电极设置；固定电极的第一端面靠近可动电极设置；获取固定电极的第一端与用于固定可动电极的固定端面之间的第一距离，以及固定电极的第二端与固定端面之间的第二距离；根据各偏置电压、各角度偏移量、各极间距离、第一距离和第二距离，得到可动电极的厚度，因此，本申请提高了测量非平行结构静电换能器的可动电极的厚度的精度。 | ||
| 搜索关键词： | 平行 电极 厚度 测量方法 装置 以及 系统 | ||
【主权项】：
1.一种非平行可动电极厚度测量方法，其特征在于，包括以下步骤：获取静电换能器的可动电极，在各偏置电压下分别对应的角度偏移量和极间距离；所述角度偏移量为所述可动电极在所述偏置电压下转动的角度；所述极间距离为所述可动电极的第一端面与所述静电换能器的固定电极的第一端面之间的最大距离；所述可动电极的第一端面远离所述固定电极设置；所述固定电极的第一端面靠近所述可动电极设置；获取所述固定电极的第一端与用于固定所述可动电极的固定端面之间的第一距离，以及所述固定电极的第二端与所述固定端面之间的第二距离；根据各所述偏置电压、各所述角度偏移量、各所述极间距离、所述第一距离和所述第二距离，得到所述可动电极的厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室）），未经中国电子产品可靠性与环境试验研究所（（工业和信息化部电子第五研究所）（中国赛宝实验室））许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811250577.2/，转载请声明来源钻瓜专利网。
