[发明专利]低能扫描电子显微镜系统、扫描电子显微镜系统及样品探测方法有效
| 申请号： | 201811250972.0 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109300759B | 公开（公告）日： | 2020-07-31 |
| 发明（设计）人： | 李帅;何伟 | 申请（专利权）人： | 聚束科技（北京）有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/145 | 分类号： | H01J37/145;H01J37/244;H01J37/26;H01J37/28;G01N23/203;G01N23/225 |
| 代理公司： | 北京派特恩知识产权代理有限公司 11270 | 代理人： | 王军红;张颖玲 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区经济*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种低能扫描电子显微镜系统，包括：电子源，用于产生电子束；电子加速结构，用于增加所述电子束的运动速度；复合物镜，用于对经所述电子加速结构加速的电子束进行汇聚；偏转装置，用于改变所述电子束的运动方向；探测装置，包括用于接收电子束作用于样品上产生的二次电子和背散射电子的第一子探测装置、用于接收所述背散射电子的第二子探测装置、以及用于改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向的控制装置；电透镜，包括第二子探测装置、样品台和控制电极，用于减小所述电子束的运动速度，并改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向。本发明还公开了扫描电子显微镜物镜系统及样品探测方法。 | ||
| 搜索关键词： | 低能 扫描 电子显微镜 系统 样品 探测 方法 | ||
【主权项】：
1.一种低能扫描电子显微镜系统，其特征在于，包括：第一电子源、电子加速结构、第一偏转装置、第一探测装置，以及由磁透镜和电透镜构成的复合物镜；其中，所述第一电子源，用于产生电子束；所述电子加速结构，用于增加所述电子束的运动速度；所述复合物镜，用于对经所述电子加速结构加速的电子束进行汇聚；所述第一偏转装置，位于所述磁透镜的内壁与所述电子束的光轴之间，用于改变经所述电子加速结构加速的电子束的运动方向；所述第一探测装置，包括用于接收电子束作用于样品上产生的二次电子和背散射电子的第一子探测装置、用于接收所述背散射电子的第二子探测装置、以及用于改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向的控制装置；所述电透镜，包括第二子探测装置、样品台和控制电极，用于减小所述电子束的运动速度，并改变所述二次电子和所述背散射电子的运动方向。
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