[发明专利]柔性光波导及其制备方法有效
| 申请号： | 201811251388.7 | 申请日： | 2018-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN109521512B | 公开（公告）日： | 2023-05-16 |
| 发明（设计）人： | 冯雪;叶柳顺;陈颖 | 申请（专利权）人： | 浙江清华柔性电子技术研究院;清华大学 |
| 主分类号： | G02B6/00 | 分类号： | G02B6/00 |
| 代理公司： | 杭州华进联浙知识产权代理有限公司 33250 | 代理人： | 李丽华 |
| 地址： | 314006 浙江省嘉兴*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种柔性光波导及其制备方法，包括：提供基板，并在基板上形成牺牲层；在牺牲层上依次形成第一光限制层、光传输层；在光传输层上形成光刻胶层，对光刻胶层进行曝光、显影、刻蚀，得到光传输单元；在光传输单元上覆盖第二光限制层，得到预制体；提供柔性衬底，将预制体转印于柔性衬底上，得到柔性光波导。该柔性光波导包括柔性衬底以及依次形成于柔性衬底上的第一光限制层和第二光限制层，第一光限制层和第二光限制层之间包埋有光传输单元。本发明的柔性光波导是一种类皮肤超薄光波导，与人体皮肤贴合度很好，可以实现柔性电子器件的高度集成且微型化，用于柔性可穿戴医疗电子器件时可以提高人体舒适感。 | ||
| 搜索关键词： | 柔性 波导 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性光波导的制备方法，其特征在于，所述制备方法包括：(1)提供基板，并在所述基板上形成牺牲层；(2)在所述牺牲层上依次形成第一光限制层、光传输层；(3)在所述光传输层上形成光刻胶层，对光刻胶层进行曝光、显影、刻蚀，得到至少一个光传输单元；(4)在所述光传输单元上覆盖第二光限制层，得到预制体；(5)提供柔性衬底，将所述预制体转印于所述柔性衬底上，得到柔性光波导。
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