[发明专利]一种超硬材料的微小孔激光打孔装置

摘要

本发明涉及超硬材料的微小孔激光打孔技术领域，尤其为一种超硬材料的微小孔激光打孔装置，包括大理石平台，所述大理石平台的端面上固定设有大理石横梁，所述大理石横梁上的中心位置固定设有精密Z轴，所述精密Z轴滑动上竖直并固定全铝材料的光路，所述光路发射的激光角度可以高速偏转，所述光路侧方固定安装高倍率CCD相机，所述大理石平台上固定安装精密XY直线驱动平台，所述精密XY直线驱动平台在光路下方，所述精密XY直线驱动平台上安装并固定带有角度调整的治具，所述治具夹紧并固定超高转速高回转精度气动主轴。本发明解决了超硬材料微孔加工问题，打孔孔径精度高，加工无毛刺，无需后期处理。

主权项

1.一种超硬材料的微小孔激光打孔装置，包括大理石平台（1），其特征在于：所述大理石平台（1）的端面上固定设有大理石横梁（2），所述大理石横梁（2）上的中心位置固定设有第一驱动电机（3），所述第一驱动电机（3）的下方固定设有第一驱动电机固定板（4），所述第一驱动电机固定板（4）固定连接在大理石横梁（2）上，所述第一驱动电机（3）的驱动端固定连接有第一精密滚珠丝杆（5）并且贯穿第一驱动电机固定板（4），所述第一精密滚珠丝杆（5）上并且位于第一驱动电机固定板（4）的下方螺纹连接有精密Z轴（6），所述精密Z轴（6）滑动连接Z轴滑槽（7），所述Z轴滑槽（7）固定连接在大理石横梁（2）上，所述精密Z轴（6）的另一侧壁固定连接有光路（8）并且与Z轴滑槽（7）滑动连接，所述光路（8）的右侧固定连接有CCD相机（9），所述CCD相机（9）上固定设有高倍相机镜头（16），所述高倍相机镜头（16）通过高倍相机镜头固定环（10）固定连接在光路（8）上，所述光路（8）下方并且位于大理石平台（1）的端面上对应设有XY直线驱动平台（11），所述XY直线驱动平台（11）上固定设有弹性防护罩（12），所述XY直线驱动平台（11）的端面上螺纹连接有载物台（13），所述载物台（13）的端面上并且与高倍相机镜头（10）对应设有气动主轴治具（14），所述XY直线驱动平台（11）的右侧并且位于大理石平台（1）的端面上固定设有控制箱（15），所述气动主轴治具（14）包括气动主轴治具底座（17）和气动主轴治具角度调整单元（19），所述主轴治具底座（17）的端面上固定设有气动主轴治具立柱（18），所述气动主轴治具角度调整单元（19）固定设置在气动主轴治具立柱（18）的侧壁上，所述气动主轴治具立柱（18）远离气动主轴治具角度调整单元（19）的侧壁上固定设有气动主轴夹持和角度调整件（20），所述气动主轴夹持和角度调整件（20）夹持固定气动主轴主体（21），所述气动主轴主体（21）的端面上固定设有气动主轴自动定心夹头（22），所述气动主轴主体（21）的底部固定设有气动主轴进气口（23）和气动主轴出气口（24），所述XY直线驱动平台（11）包括第一底板（25）和第二底板（34），所述第一底板（25）和第二底板（34）相互垂直设置，所述第一底板（25）中心位置固定设有第一U型槽直线驱动电机（28），所述第一底板（25）两端设有第一柔性缓冲（27），所述第一U型槽直线驱动电机（28）的两侧平行安装两根第一直线滚动导轨组（26）和（29），所述第一U型槽直线驱动电机（28）和第一直线滚动导轨组（29）之间平行安装第一高精度光栅尺（30），所述第一直线滚动导轨（26）和（29）上安装第一连接板（31），所述第一连接板（31）侧面安装两套第一防尘罩（39），所述第一连接板（31）连接第二底板（34）和第一直线滚动导轨组（26）和（29），所述第二底板（34）中心位置固定设有第二U型槽直线驱动电机（38），所述第二底板（34）两端设有第二柔性缓冲（35），所述第二U型槽直线驱动电机（38）的两侧平行安装两根第二直线滚动导轨组（33）和（36），所述第二U型槽直线驱动电机（38）和第二直线滚动导轨组（36）之间平行安装第二高精度光栅尺（37），所述第二直线滚动导轨组（33）和（36）上安装第二连接板（40），所述第二连接板（40）侧面安装两套第二防尘罩（32），所述第二连接板（40）螺丝固定载物台（13）。