[发明专利]基于ZnO纳米棒/Si异质结的自驱动光电探测器及制备方法

摘要

本发明属于光探测技术领域，具体涉及一种自驱动光电探测器，该自驱动光电探测器，由上至下依次包括金属In点电极、金属Pd前电极、表面修饰有ZIF‑8的ZnO纳米棒薄膜层、Si单晶基底和金属In背电极。表面修饰有ZIF‑8的ZnO纳米棒薄膜层是利用磁控溅射、水热法、氢气退火处理等方法制备的。测试结果显示，所制备薄膜器件表现出良好的自驱动光探测性能，具有性能稳定等优点。

主权项

1.一种基于ZnO纳米棒/Si异质结的自驱动光电探测器，其特征在于：包括金属In点电极、金属Pd前电极、表面修饰有ZIF‑8的ZnO纳米棒薄膜层、Si单晶基底和金属In背电极，表面修饰有ZIF‑8的ZnO纳米棒薄膜层设置在Si基底表面，金属Pd前电极在表面修饰有ZIF‑8的ZnO纳米棒薄膜层表面，金属In电极分别压制于金属Pd前电极和Si基底表面。