[发明专利]一种直写曝光机用LED照明系统在审

专利信息
申请号: 201811256950.5 申请日: 2018-10-26
公开(公告)号: CN109240046A 公开(公告)日: 2019-01-18
发明(设计)人: 洪小苗 申请(专利权)人: 洪小苗
主分类号: G03F7/20 分类号: G03F7/20
代理公司: 苏州翔远专利代理事务所(普通合伙) 32251 代理人: 王鑫
地址: 215000 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 一种直写曝光机用LED照明系统,系统采用光轴旋转对称的同轴透射式光学结构,包括LED光源、匀光器件、中继成像镜组、被照明面;所述LED光源出光面为平面,其出射光发散角为60°;所述匀光器件为一实心或空心光学积分棒,其入光端面与所述LED光源出光面紧贴,其出光端面与所述中继成像镜组第一镜片紧贴;所述中继成像镜组将所述匀光器件的出光面成像至被照明面。本发明具有光源利用率高、照明均匀性好、结构简单、装配精度要求低、成本低、良品率高的特点。
搜索关键词: 匀光器件 中继成像 出光面 镜组 被照明面 曝光机 直写 紧贴 出射光发散角 光学积分棒 光源利用率 透射式光学 照明均匀性 出光端面 精度要求 入光端面 旋转对称 良品率 镜片 光轴 同轴 成像 装配
【主权项】:
1.一种直写曝光机用LED照明系统,其特征在于:系统采用光轴旋转对称的同轴透射式光学结构,包括LED光源、匀光器件、中继成像镜组、被照明面;所述LED光源出光面为平面正方形或长方形,所述LED光源的出射光发散角为60°;所述匀光器件为一实心或空心光学积分棒,所述匀光器件的入光端面与所述LED光源出光面紧贴,所述匀光器件的出光端面与所述中继成像镜组第一镜片紧贴;所述中继成像镜组将所述匀光器件的出光面成像至被照明面。
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