[发明专利]超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积法及由该沉积法制造的发光显示装置有效
| 申请号： | 201811257713.0 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109722636B | 公开（公告）日： | 2021-04-09 |
| 发明（设计）人： | 方炯锡;朴汉善;林亨俊 | 申请（专利权）人： | 乐金显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/28 | 分类号： | C23C14/28;C23C14/12;C23C14/04;H01L51/00;H01L51/56 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 蔡胜有;冷永华 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本申请涉及超精细图案沉积设备、使用其的超精细图案沉积法及由该积法制的发光显示装置。超精细图案沉积设备包括基底基板、光热转换器、源部和光反射器。光热转换器容置在基底基板中并将光能转换成热能。源部设置在光热转换器上。光反射器包括具有侧向凹入的下部和从下部突出的上部的开口，以基于光反射器与基底基板之间的折射率差而反射输入到其的外部光并且将从源部发射的源引导至目标区域。 | ||
| 搜索关键词： | 精细 图案 沉积 设备 使用 法制 发光 显示装置 | ||
【主权项】：
1.一种超精细图案沉积设备，包括：基底基板；光热转换器，所述光热转换器容置在所述基底基板中并将光能转换为热能；以及光反射器，所述光反射器包括具有侧向凹入的下部和从所述下部突出的上部的开口，以基于所述光反射器与所述基底基板之间的折射率差而反射输入到所述光反射器的外部光。
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