[发明专利]使用小晶粒尺寸的阴极材料的离子泵惰性气体稳定性有效
| 申请号： | 201811257859.5 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109706426B | 公开（公告）日： | 2020-01-21 |
| 发明（设计）人： | A.怀诺拉德 | 申请（专利权）人： | 爱德华兹真空泵有限责任公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 72001 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人： | 邹松青;谭祐祥 |
| 地址： | 美国*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 本发明涉及方法，所述方法包括：评定多个钛板以确定每个板的晶粒尺寸；以及从所述多个钛板移除具有大于阈值尺寸的平均晶粒尺寸的所有钛板。然后，使用在移除步骤之后保留在所述多个钛板中的钛板中的一个来形成离子泵的阴极。 | ||
| 搜索关键词： | 钛板 离子泵 移除 阴极 晶粒 惰性气体 平均晶粒 阴极材料 小晶粒 评定 保留 | ||
【主权项】：
1.一种用于减小惰性气体不稳定的方法，所述方法包括：/n评定多个钛板以确定每个板的晶粒尺寸；/n从所述多个钛板移除具有大于阈值尺寸的平均晶粒尺寸的所有钛板；/n使用在所述移除步骤之后保留在所述多个钛板中的所述钛板中的一个来形成离子泵的阴极；/n其中，所述阈值晶粒尺寸具有ASTM晶粒数9。/n
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