[发明专利]微波天线调控磁增强线形等离子体源产生系统有效
| 申请号： | 201811258419.1 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109302791B | 公开（公告）日： | 2023-08-22 |
| 发明（设计）人： | 张文瑾;陈龙威;江贻满;刘成周;赵颖;单家芳;刘甫坤 | 申请（专利权）人： | 中国科学院合肥物质科学研究院 |
| 主分类号： | H05H1/46 | 分类号： | H05H1/46 |
| 代理公司： | 安徽合肥华信知识产权代理有限公司 34112 | 代理人： | 宋仔娟 |
| 地址： | 230031 *** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种微波天线调控磁增强线形等离子体源产生系统，包括有微波等离子体放电腔和扩散腔，放电腔外部设有磁铁组件，扩散腔底部设有真空机组，放电腔与扩散腔之间相连通；放电腔为等离子体产生区，设有与气源连接的上、下进气管以及与微波源相连接的同轴圆波导，同轴圆波导内设有同轴微波天线；在磁铁组件产生的磁场增强下，使用同轴圆波导以及同轴微波天线在微波传输过程中控制微波能量损耗和馈入，从而激发工作气体产生均匀高密度线形微波等离子体源，并在扩散腔形成较均匀的高密度等离子体分布。本发明通过磁场增强和同轴微波天线，提高等离子体密度，调节微波传输过程中能量损耗及馈入，得到均匀高密度微波线形等离子体源。 | ||
| 搜索关键词： | 微波 天线 调控 增强 线形 等离子体 产生 系统 | ||
【主权项】：
1.微波天线调控磁增强线形等离子体源产生系统，其特征在于：包括有微波等离子体放电腔和扩散腔，放电腔外部设有磁铁组件，扩散腔底部设有真空机组，放电腔与扩散腔之间相连通；所述放电腔为等离子体产生区，放电腔内设有与气源连接的上、下进气管以及与微波源相连接的同轴圆波导，同轴圆波导内设有同轴微波天线；所述的同轴圆波导由铜内导体与套在铜内导体外的石英玻璃管组成，以铜内导体作为同轴圆波导的内导体，以被石英玻璃管与铜内导体之间的微波电场激发的等离子体作为同轴圆波导的外导体；所述的同轴微波天线位于同轴圆波导中的铜内导体与石英玻璃管之间；在磁铁组件产生的磁场增强下，使用同轴圆波导以及同轴微波天线在微波传输过程中控制微波能量损耗和馈入，从而激发工作气体产生均匀高密度线形微波等离子体源，并在扩散腔形成较均匀的高密度等离子体分布。
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