[发明专利]一种高耐热性光刻胶组合物及其制备方法有效
| 申请号： | 201811260735.2 | 申请日： | 2018-10-26 |
| 公开（公告）号： | CN109491204B | 公开（公告）日： | 2022-10-25 |
| 发明（设计）人： | 康文兵 | 申请（专利权）人： | 徐州瑞义新材料有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004;C08F8/28;C08F16/06 |
| 代理公司： | 上海融力天闻律师事务所 31349 | 代理人： | 周文明 |
| 地址： | 221300 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高耐热性光刻胶组合物及其制备方法，该高耐热性光刻胶组合物包括：a)基础光刻胶；b)高耐热性树脂；其中，所述基础光刻胶主要组分为酚醛树脂和光敏剂，所述高耐热性树脂为显影液可溶解的缩醛树脂。本发明的高耐热性光刻胶组合物，通过在基础光刻胶中添加显影液可溶解的缩醛树脂可以提高光刻胶的耐热性，由于缩醛基在光刻胶加热过程中可以与光刻胶树脂的酚羟基进行缩醛交换反应而带来整体膜的Tg增加而提高耐热性。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 耐热性 光刻 组合 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高耐热性光刻胶组合物，其特征在于，包括：a)基础光刻胶；b)高耐热性树脂；其中，所述基础光刻胶主要组分为酚醛树脂和光敏剂，所述高耐热性树脂为显影液可溶解的缩醛树脂。
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