[发明专利]环保型高效单液型酸性蚀刻液在审

专利信息
申请号: 201811264414.X 申请日: 2018-10-29
公开(公告)号: CN109252166A 公开(公告)日: 2019-01-22
发明(设计)人: 戴泽民;杨国雄;苑伟东 申请(专利权)人: 深圳市中南环保科技控股有限公司
主分类号: C23F1/18 分类号: C23F1/18;C23F1/46
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 518000 广东省深圳市罗湖区*** 国省代码: 广东;44
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摘要: 发明公开了一种环保型高效单液型酸性蚀刻液,其中,盐酸比例范围在45%‑65%、氯化铵比例范围在0.05‑0.1%之间;氯化钠比例范围在0.025%‑0.035%;添加剂比例范围仅为0.005%‑0.01%、催化氧化剂比例范围为0.01%‑0.04,其余为水。本发明的有益效果是:废液经过现场处理,回收使用的效率可以达到新鲜“子液”的85%以上,节省成本。
搜索关键词: 酸性蚀刻液 单液型 环保型 氯化钠 催化氧化剂 现场处理 氯化铵 废液 子液 盐酸 添加剂 回收 新鲜
【主权项】:
1.一种环保型高效单液型酸性蚀刻液,其特征在于,各组分配重比范围为:
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