[发明专利]一种单晶硅片的制绒方法在审
| 申请号： | 201811265407.1 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN109295498A | 公开（公告）日： | 2019-02-01 |
| 发明（设计）人： | 张跃进;曾庆生;李波 | 申请（专利权）人： | 钟祥博谦信息科技有限公司 |
| 主分类号： | C30B33/10 | 分类号： | C30B33/10;C30B29/06;H01L31/18;H01L31/0236 |
| 代理公司： | 北京细软智谷知识产权代理有限责任公司 11471 | 代理人： | 葛钟 |
| 地址： | 431900 湖北省荆门市钟祥*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种单晶硅片的制绒方法，所述单晶硅片的制绒方法包括以下步骤：清洁单晶硅片的表面；向反应器中加入去离子水，并进行加热，再依次加入氢氧化钠、制绒添加剂、表面活性剂混合搅拌均匀，将硅片放入反应器中进行反应，待反应结束后将硅片取出，进行清洗、干燥即可。本发明的有益效果为：本发明所述一种单晶硅片的制绒方法操作简单，在制绒液中加入了表面活性剂PVP和SDS两者相互作用，达到一种反射率比较低，消泡效果较好的制绒效果；此外，本发明所使用的原料均为无毒、无污染原料，对人体和环境无危害，且制作成本较低适合大型生产。 | ||
| 搜索关键词： | 单晶硅片 制绒 反应器 硅片 表面活性剂混合 表面活性剂 无污染原料 制绒添加剂 氢氧化钠 去离子水 反射率 制绒液 放入 消泡 加热 无毒 清洗 取出 清洁 制作 生产 | ||
【主权项】：
1.一种单晶硅片的制绒方法，其特征在于，包括以下步骤：(1)清洁单晶硅片的表面；(2)向反应器中加入去离子水，并进行加热，再依次加入氢氧化钠、制绒添加剂、表面活性剂混合搅拌均匀，将硅片放入反应器中进行反应，待反应结束后将硅片取出，进行清洗、干燥即可。
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