[发明专利]一种柔性突触仿生器件及其制备方法有效
| 申请号： | 201811265425.X | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN109473547B | 公开（公告）日： | 2022-03-15 |
| 发明（设计）人： | 赵波;张超金;吴莹 | 申请（专利权）人： | 江苏师范大学 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 221116 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种柔性突触仿生器件及其制备方法，从下至上依次包括柔性衬底、底电极薄膜、缺氧二氧化钛薄膜层、二氧化钛薄膜层、氧化锌薄膜层及顶电极薄膜，所述底电极薄膜和顶电极薄膜通过电极引线与电源连接；制备时先依次在柔性衬底上形成底电极薄膜、缺氧二氧化钛薄膜层、二氧化钛薄膜层、氧化锌薄膜层及顶电极薄膜，随后在底电极薄膜和顶电极薄膜设置电极引线，采用高频超声波将电极引线与底电极薄膜及顶电极薄膜的接触点固定。本发明的柔性突触仿生器件不仅有效避免了柔性衬底因固定电极引线产生的机械能或者热能而在底电极或顶电极与柔性衬底间产生应力而导致破坏，且能够改善器件的时间保持性和抗疲劳性，提高使用寿命。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 柔性 突触 仿生 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种柔性突触仿生器件，其特征在于：该器件从下至上依次包括柔性衬底(1)、底电极薄膜(2)、缺氧二氧化钛薄膜层(3)、二氧化钛薄膜层(4)、氧化锌薄膜层(5)及顶电极薄膜(6)，所述底电极薄膜(2)和顶电极薄膜(6)通过电极引线(7)与电源(8)连接。
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