[发明专利]光信号采集装置和刻蚀设备有效
| 申请号： | 201811267644.1 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN111105972B | 公开（公告）日： | 2022-11-25 |
| 发明（设计）人： | 侯文潭;郭士选;曹永友;楼丰瑞;石锗元 | 申请（专利权）人： | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 北京天昊联合知识产权代理有限公司 11112 | 代理人： | 彭瑞欣;姜春咸 |
| 地址： | 100176 北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种光信号采集装置，所述光信号采集装置包括安装套筒、光信号收集件和透光件。所述光信号收集件包括导光腔，所述光信号收集件的导光腔的入口形成在所述光信号收集件的一端。所述安装套筒与所述光信号收集件上形成有所述导光腔的入口的一端固定连接。所述透光件设置在安装套筒内或所述安装套筒与所述光信号收集件之间，且从安装套筒的内腔出射的光能够穿过所述透光件进入所述导光腔。本发明还提供一种包括该光信号采集装置的刻蚀设备，在拆装所述刻蚀设备时，可以先将所述光信号采集装置以整体形式拆装，从而可以节省设备拆装的时间成本，提高生产效率。 | ||
| 搜索关键词： | 信号 采集 装置 刻蚀 设备 | ||
【主权项】：
暂无信息
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京北方华创微电子装备有限公司，未经北京北方华创微电子装备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811267644.1/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种单晶硅晶棒的长晶方法
- 下一篇：一种单晶硅晶棒的长晶方法
