[发明专利]柔性显示屏的制造方法有效

专利信息
申请号: 201811268383.5 申请日: 2018-10-29
公开(公告)号: CN109360846B 公开(公告)日: 2020-05-22
发明(设计)人: 冯雪;叶柳顺;王宙恒;李海成;陈颖 申请(专利权)人: 清华大学;浙江清华柔性电子技术研究院
主分类号: H01L27/32 分类号: H01L27/32
代理公司: 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 代理人: 刘新宇
地址: 100084*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 本公开涉及一种柔性显示屏的制造方法。该方法包括:在半导体衬底的一面依次生成N型半导体层、量子阱层和P型半导体层,N型半导体层、量子阱层和P型半导体层构成功能层;对功能层进行刻蚀,形成P型电极区域和N型电极区域;在P型电极区域的对应位置生成P型透明电极,在N型电极区域的对应位置生成N型金属电极,形成多个发光器件;将多个发光器件刻蚀分离为多个独立发光器件;对多个独立发光器件进行互联;将互联后的多个独立发光器件转印至柔性衬底;去除半导体衬底,形成柔性显示屏。本公开的方法所生产的柔性显示屏的厚度薄、柔性高、化学性能稳定、机械性强、分辨率高、出光效率高、适用范围广,能够满足用户的使用需求。
搜索关键词: 柔性 显示屏 制造 方法
【主权项】:
1.一种柔性显示屏的制造方法,其特征在于,包括:在半导体衬底的一面依次生成N型半导体层、量子阱层和P型半导体层,所述N型半导体层、所述量子阱层和所述P型半导体层构成功能层;对所述功能层进行刻蚀,形成P型电极区域和N型电极区域;在所述P型电极区域的对应位置生成P型透明电极,在所述N型电极区域的对应位置生成N型金属电极,形成多个发光器件;将所述多个发光器件刻蚀分离为多个独立发光器件;对所述多个独立发光器件进行互联;将互联后的多个独立发光器件转印至柔性衬底;去除所述半导体衬底,形成所述柔性显示屏。
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