[发明专利]柔性显示屏的制造方法有效
申请号: | 201811268383.5 | 申请日: | 2018-10-29 |
公开(公告)号: | CN109360846B | 公开(公告)日: | 2020-05-22 |
发明(设计)人: | 冯雪;叶柳顺;王宙恒;李海成;陈颖 | 申请(专利权)人: | 清华大学;浙江清华柔性电子技术研究院 |
主分类号: | H01L27/32 | 分类号: | H01L27/32 |
代理公司: | 北京林达刘知识产权代理事务所(普通合伙) 11277 | 代理人: | 刘新宇 |
地址: | 100084*** | 国省代码: | 北京;11 |
权利要求书: | 查看更多 | 说明书: | 查看更多 |
摘要: | 本公开涉及一种柔性显示屏的制造方法。该方法包括:在半导体衬底的一面依次生成N型半导体层、量子阱层和P型半导体层,N型半导体层、量子阱层和P型半导体层构成功能层;对功能层进行刻蚀,形成P型电极区域和N型电极区域;在P型电极区域的对应位置生成P型透明电极,在N型电极区域的对应位置生成N型金属电极,形成多个发光器件;将多个发光器件刻蚀分离为多个独立发光器件;对多个独立发光器件进行互联;将互联后的多个独立发光器件转印至柔性衬底;去除半导体衬底,形成柔性显示屏。本公开的方法所生产的柔性显示屏的厚度薄、柔性高、化学性能稳定、机械性强、分辨率高、出光效率高、适用范围广,能够满足用户的使用需求。 | ||
搜索关键词: | 柔性 显示屏 制造 方法 | ||
【主权项】:
1.一种柔性显示屏的制造方法,其特征在于,包括:在半导体衬底的一面依次生成N型半导体层、量子阱层和P型半导体层,所述N型半导体层、所述量子阱层和所述P型半导体层构成功能层;对所述功能层进行刻蚀,形成P型电极区域和N型电极区域;在所述P型电极区域的对应位置生成P型透明电极,在所述N型电极区域的对应位置生成N型金属电极,形成多个发光器件;将所述多个发光器件刻蚀分离为多个独立发光器件;对所述多个独立发光器件进行互联;将互联后的多个独立发光器件转印至柔性衬底;去除所述半导体衬底,形成所述柔性显示屏。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的;包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的,或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的;包括有热磁组件的
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