[发明专利]一种砷化镓刻蚀方法

摘要

本发明公开了一种砷化镓刻蚀方法，包括将砷化镓置于电化学反应池的电解液中，电解液包括非氧化性酸、金属溴化物和水；给电化学反应池中的电极通入预定电压，预定电压为电解液的pH值和金属溴化物的浓度在预定范围时保持预定刻蚀速率的电压。本申请中来自金属溴化物的溴离子可通过电化学反应生成溴气，溴气与水反应生成次溴酸。砷化镓可在被次溴酸氧化后与电解液中的氢离子发生反应，达到通过电化学反应的方式刻蚀砷化镓的目的。本申请的砷化镓刻蚀方法可通过控制电压来控制砷化镓的刻蚀速率，刻蚀速率易控，且控制的精度高。