[发明专利]一种抗高温水蒸气腐蚀的纳米梯度复合多层涂层及其制备方法和应用

摘要

本发明公开了一种抗高温水蒸气腐蚀的纳米梯度复合多层涂层，由纳米梯度结构的CrxAlySi1‑x‑y层、CraAlbSicN1‑a‑b‑c层以及CreN1‑e层依次沉积在基体上形成，0.45≤x≤0.6，0.15≤y≤0.3，0.3＜a≤0.4，0.2≤b≤0.25，0.06≤c≤0.13，0.85＜e≤1，x、y、a、b、c、e均为平均原子比。本发明还公开了所述涂层的制备方法，分成三个时间段进行沉积，分别控制各时间段的溅射时间、所用靶材及其溅射功率以及通入N2的流量制得，得到的涂层硬度高达18～23GPa，在300～800℃冷热交替水蒸气腐蚀下5～7次，涂层不开裂，特别适合应用于发电领域。

主权项

1.一种抗高温水蒸气腐蚀的纳米梯度复合多层涂层，其特征在于，所述纳米梯度复合多层涂层由纳米梯度结构的CrxAlySi1‑x‑y层、纳米梯度结构的CraAlbSicN1‑a‑b‑c层以及纳米梯度结构的CreN1‑e层依次沉积在基体上形成，靠近基体的为CrxAlySi1‑x‑y层，中间为CraAlbSicN1‑a‑b‑c层，表面为CreN1‑e层；其中，0.45≤x≤0.6，0.15≤y≤0.3，0.3＜a≤0.4，0.2≤b≤0.25，0.06≤c≤0.13，0.85＜e≤1，x、y、a、b、c、e均为平均原子比。