[发明专利]面板显示阵列制程用新型草酸系ITO蚀刻液在审
| 申请号： | 201811269095.1 | 申请日： | 2018-10-29 |
| 公开（公告）号： | CN109233837A | 公开（公告）日： | 2019-01-18 |
| 发明（设计）人： | 王润杰;郑李辉;卢洪庆;李华平;陈文波 | 申请（专利权）人： | 苏州博洋化学股份有限公司 |
| 主分类号： | C09K13/06 | 分类号： | C09K13/06;H01L21/306 |
| 代理公司： | 北京华仲龙腾专利代理事务所(普通合伙) 11548 | 代理人： | 李静 |
| 地址： | 215000 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及面板显示阵列制程用新型草酸系ITO蚀刻液，以重量百分比计算，包括3.2‑3.6％的草酸、5ppm‑900ppm的表面活性剂和余量的超纯水。本发明选用新型的表面活性剂，该表面活性剂降低了表面张力以达到对微晶的控制；同时没有其他任何负面作用，微观细节的控制也更优；同时无稳定泡沫存在，3‑10s完全自消泡，消除了泡沫对蚀刻的影响，提高了产品良率。 | ||
| 搜索关键词： | 草酸 表面活性剂 面板显示 蚀刻液 制程 重量百分比计算 蚀刻 产品良率 负面作用 稳定泡沫 超纯水 微晶 消泡 微观 | ||
【主权项】：
1.面板显示阵列制程用新型草酸系ITO蚀刻液，其特征在于，以重量百分比计算，包括3.2‑3.6％的草酸、5ppm‑900ppm的表面活性剂和余量的超纯水。
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