[发明专利]一种热膨胀式流体二维加速度计及其加工方法在审
| 申请号： | 201811275837.1 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109164274A | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 朴林华;胡永辉;朴然;王灯山;任安润;田文杰 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/18 | 分类号： | G01P15/18;G01P15/08 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及惯性测量技术领域，尤其是涉及一种热膨胀式流体二维加速度计及其加工方法。该热膨胀式流体二维加速度计采用方形结构的检测层、悬置金属电阻桥加热丝和金属电阻桥热敏丝，上密封层与下密封层组成密闭腔体，并配合相应的检测和处理信号电路，可实现二维加速度的同时检测。该结构在X轴和Y轴方向分别放置两根金属电阻桥加热丝，在每根金属电阻桥加热丝两侧的两根金属电阻桥热敏丝，可实现加速度值的准确测量。另外，该加速度计具有结构简单，制作和装配方便，成本低，功耗低，抗冲击能力强，寿命长的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 金属电阻 二维加速度计 热膨胀式 加热丝 流体 热敏丝 抗冲击能力 处理信号 方形结构 惯性测量 加速度计 密闭腔体 上密封层 下密封层 装配方便 准确测量 检测层 检测 二维 功耗 悬置 加工 电路 制作 配合 | ||
【主权项】：
1.一种热膨胀式流体二维加速度计，其特征在于，包括：上密封层、下密封层、中间检测层；所述中间检测层设置有方形结构，所述方形结构设置有金属电阻桥热敏丝、金属电阻桥加热丝和绝缘子接线柱；所述上密封层设置有上密封层内槽，所述下密封层设置有下密封层内槽，所述上密封层与所述下密封层构成加速度计的敏感腔体，所述敏感腔体内部的气体与外界隔离以形成一个封闭的工作环境。
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