[发明专利]一种基于光斑偏移法测量激光光斑聚焦直径的光学实验系统及实验方法有效
| 申请号： | 201811277908.1 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109297585B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 卢明辉;狄琛;颜学俊;潘佳慧;冯元会;刘晓平;陈延峰 | 申请（专利权）人： | 南京光声超构材料研究院有限公司 |
| 主分类号： | G01J1/00 | 分类号： | G01J1/00;G01M11/02;G02B27/28;G09B23/22 |
| 代理公司： | 苏州拓云知识产权代理事务所(普通合伙) 32344 | 代理人： | 李锋 |
| 地址： | 210000 江苏省南京市栖霞区仙林*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： |
本发明公开了一种基于光斑偏移法测量激光光斑聚焦直径的光学实验系统，本发明包括偏振分束器A、偏振分束器B，偏振分束器A被布置为使一束激光分成偏振方向互相垂直的两束光，偏振分束器B被布置为将偏振分束器A分成的两束光进行重合，偏振分束器A固定设置，所述偏振分束器B连接设置在纳米压电促动器上，以便使所述偏振分束器B在所述纳米压电促动器的驱动下实现三维运动，进而使得所述偏振分束器B发生偏转，从而实现两束光发生一定的偏移，使锁相放大器接收到的V |
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| 搜索关键词： | 一种 基于 光斑 偏移 测量 激光 聚焦 直径 光学 实验 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种基于光斑偏移法测量激光光斑聚焦直径的光学实验系统，其包括偏振分束器A、偏振分束器B，所述偏振分束器A被布置为使一束激光分成偏振方向互相垂直的两束光，偏振分束器B被布置为将所述偏振分束器A分成的两束光进行重合，其特征在于，偏振分束器A固定设置，所述偏振分束器B连接设置在纳米压电促动器上，以便使所述偏振分束器B在所述纳米压电促动器的驱动下实现三维运动，进而使得所述偏振分束器B发生偏转，从而实现两束光发生一定的偏移，使锁相放大器接收到的Vin信号产生变化，对采集到的信号进行数值拟合，即可得到光斑的聚焦直径。
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