[发明专利]基于光纤熔锥的本征型法布里-珀罗应力传感器及其制造方法在审
| 申请号： | 201811278181.9 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109520654A | 公开（公告）日： | 2019-03-26 |
| 发明（设计）人： | 张小贝;孙雯;杨勇;邵海洋;熊家宝;黄怿;邓传鲁 | 申请（专利权）人： | 上海大学 |
| 主分类号： | G01L1/24 | 分类号： | G01L1/24 |
| 代理公司： | 上海上大专利事务所(普通合伙) 31205 | 代理人： | 顾勇华 |
| 地址： | 200444*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提出一种基于光纤熔锥的本征型法布里‑珀罗拉力传感器件及其制造方法。该器件通过飞秒脉冲激光器在光纤熔锥的锥腰内部刻写两个折射率改变区域形成反射镜面，通过改变光纤熔锥锥腰直径来获取不同的拉力传感灵敏度。当传感器件受到外界拉力时，光纤熔锥本征型法布里‑珀罗传感器的腔长、纤芯直径和纤芯折射率都会发生微小变化，使得光纤本征型法布里‑珀罗传感器的光程差发生变化，从而导致反射谱发生漂移以观察外界拉力变化。本器件将光纤熔锥的细直锥腰特性和光纤本征型法布里‑珀罗高分辨率传感特性相结合，不仅提高了光纤传感器件的传感灵敏度、分辨率、响应速度和可靠性并且具有广泛的应用前景。 | ||
| 搜索关键词： | 光纤熔锥 本征型 法布里 传感灵敏度 外界拉力 传感器 光纤 飞秒脉冲激光器 刻写 漂移 光纤传感器件 光纤熔锥锥腰 法布里-珀罗 拉力传感器 纤芯折射率 应力传感器 传感器件 传感特性 反射镜面 高分辨率 区域形成 微小变化 反射谱 光程差 折射率 分辨率 腔长 纤芯 制造 响应 观察 应用 | ||
【主权项】：
1.一种基于光纤熔锥的本征型法布里‑珀罗应力传感器，其特征在于，光纤熔锥通过加热熔融标准光纤拉制而成，主要包含三个部分：细直的锥腰区域(1)、对称的过渡区域(2)、光纤区域(3)，利用飞秒激光，在光纤熔锥的锥腰区域(1)中部刻写两个对称的折射率改变区域，形成光纤本征型法布里‑珀罗拉力传感器的两个反射镜，作为反射面(4)。
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