[发明专利]一种MEMS回形螺线管变压器及其制造方法有效
| 申请号： | 201811278321.2 | 申请日： | 2018-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN109599249B | 公开（公告）日： | 2020-11-10 |
| 发明（设计）人： | 陶智;李海旺;徐天彤;吴瀚枭 | 申请（专利权）人： | 北京航空航天大学 |
| 主分类号： | H01F17/00 | 分类号： | H01F17/00;H01F27/245;H01F27/28 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 王莹;吴欢燕 |
| 地址： | 100191*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明实施例提供了一种MEMS回形螺线管变压器，包括：硅衬底、回形软磁铁芯、第一螺线管及第二螺线管；其中，回形软磁铁芯包裹在硅衬底内部，硅衬底上设置有第一螺旋孔道和第二螺旋孔道，且回形软磁铁芯的两个相对的边分别穿过第一螺旋孔道的中心和第二螺旋孔道的中心，第一螺线管及第二螺线管分别设置在第一螺旋孔道和第二螺旋孔道中。通过将变压器的回形软磁铁芯、第一螺线管及第二螺线管全部设置在硅衬底的内部，充分利用了硅衬底的厚度，得到的变压器的绕组横截面积更大，磁通量更高，使得变压器的电感值高；同时，硅衬底能够对回形软磁铁芯、第一螺线管及第二螺线管起到保护作用，提高了变压器的强度，抗冲击性能好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 mems 螺线管 变压器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种MEMS回形螺线管变压器，其特征在于，包括：硅衬底、回形软磁铁芯、第一螺线管及第二螺线管；其中，所述回形软磁铁芯包裹在所述硅衬底内部，所述硅衬底上设置有第一螺旋孔道和第二螺旋孔道，且所述回形软磁铁芯的两个相对的边分别穿过所述第一螺旋孔道的中心和所述第二螺旋孔道的中心，所述第一螺线管及所述第二螺线管分别设置在所述第一螺旋孔道和所述第二螺旋孔道中。
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