[发明专利]一种用于铁电器件中铁电薄膜可靠性评估的实验方法

摘要

本发明提供一种用于集成铁电器件中铁电薄膜可靠性评估的高效低成本实验方法。本发明首先获得铁电薄膜的初始性能参数，然后按工艺操作时间顺序，统计集成器件制作工艺路线中各工艺的温度和时间参数，提炼出对铁电薄膜性能影响较大的高风险工艺参数；其次，按以上高风险工艺步骤的顺序、温度值和温度时间，逐步复制温度，获得各单步的薄膜电学性能，并与前一步骤进行量化对比。本发明在两个基本条件下的基础上提出：(1)成熟稳定的铁电薄膜生长工艺，(2)初步确立的集成工艺路线。本发明对集成器件制作过程由工艺温度造成的铁电薄膜性能下降的问题进行前期评估，提出可有效缩短实验时间，极大降低实验成本的一种方法。

主权项

1.一种用于铁电集成器件中铁电薄膜可靠性评估的实验方法，其特征在于：包括以下步骤：S1：测量铁电薄膜的初始特性，得到关键初始性能参数；S2：按工艺操作时间顺序，统计集成器件制作工艺路线中各工艺的温度和时间参数，提炼出对铁电薄膜性能影响较大的高风险工艺参数；S3：将上述提炼出的高风险工艺参数，按工艺操作时间顺序，逐步复制温度值和温度时间，对铁电薄膜进行处理；S4：测量得到各单一高风险工艺步骤后的铁电薄膜电学性能，并与前一步骤进行量化对比；其中，S1和S4步骤，测量薄膜的电学性能，包括电滞回线、漏电流密度曲线、电容电压特性曲线、保持特性曲线、疲劳特性曲线等关键性能。