[发明专利]一种200片装电池片石英舟的缓存装置在审
| 申请号： | 201811284294.X | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN111128787A | 公开（公告）日： | 2020-05-08 |
| 发明（设计）人： | 卓祖亮;宋敏;鲁丹 | 申请（专利权）人： | 北京中科信电子装备有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/67 | 分类号： | H01L21/67;H01L21/683 |
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| 地址： | 101111 北京市通*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种200片装电池片石英舟的缓存装置：包括：本发明公布了一种200片装电池片石英舟的缓存装置。太阳能电池片是易碎品，在生产、包装、运输及存储过程中的防护极为重要，该发明重点解决智能制造生产过程中太阳能电池片的缓存。本发明专利的技术方案要点体现在，通过传感器和定位机构确定有无石英舟，是否在制定位置上，同时实现石英舟先进先出的取放。在传统的太阳能电池片生产线时代，也有缓存装置，不过是以小推车的形式来呈现的，大多数工作通过人工来进行操作，故对缓存装置的形式和设计要求不严格。为了配合太阳能电池智能制造生产线的建设，保证物料的正常有序的流通，并提高生产线的生产效率，专业的料盒缓存装置是必要的。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 200 电池 石英 缓存 装置 | ||
【主权项】：
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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