[发明专利]一种用于水平液相外延生长的石墨舟有效
| 申请号： | 201811287220.1 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN111118597B | 公开（公告）日： | 2022-03-29 |
| 发明（设计）人： | 邸拴虎;袁卫华;魏唯;罗才旺;罗臻 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 |
| 主分类号： | C30B19/06 | 分类号： | C30B19/06 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;徐好 |
| 地址： | 410111 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种用于水平液相外延生长的石墨舟，包括舟底座、设于舟底座内的舟滑块、以及与舟底座相连的舟盖板，所述舟底座底部于左右两侧设有供机械手取放的取放部，两所述取放部之间设有支撑部，所述支撑部下方设有舟托板，所述舟托板顶部设有下凹槽，所述支撑部底部设有上凹槽，所述下凹槽与所述上凹槽配合形成内控热耦放置孔。本发明具有结构简单、使用方便、避免对拉杆和内控热耦反复操作、有利于降低内控热耦和拉杆损坏风险等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 水平 外延 生长 石墨 | ||
【主权项】：
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