[发明专利]一种光学准直系统有效
| 申请号： | 201811288187.4 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN111123535B | 公开（公告）日： | 2021-06-11 |
| 发明（设计）人： | 郁毅敏;郭银章;王健 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | G02B27/30 | 分类号： | G02B27/30 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种光学准直系统，用于对预设数值孔径和预设波长的光束进行准直操作，包括依次位于物面一侧的第一平凸透镜、第一弯月形凸透镜、第二弯月形凸透镜、第三弯月形凸透镜和第一双凸透镜；所述第一平凸透镜的光焦度为D1，所述第一弯月形凸透镜的光焦度为D2，所述第二弯月形凸透镜的光焦度为D3，所述第三弯月形凸透镜的光焦度为D4，所述第一双凸透镜的光焦度为D5；其中，D10，D20，D30，D40，D50，且min{D3，D4，D5}≤D1/10.5≤max{D3，D4，D5}；min{D3，D4，D5}表示D3、D4和D5中的最小值，max{D3，D4，D5}表示D3、D4和D5中的最大值。合理设置物面与像面之间各凸透镜的形状和光焦度，保证光学准直系统对预设数值孔径和预设波长的光束的准直效果好。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 光学 系统 | ||
【主权项】：
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