[发明专利]一种MOS管的阈值电压检测方法在审
| 申请号： | 201811289295.3 | 申请日： | 2018-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN109188236A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 王靓;莫保章 | 申请（专利权）人： | 上海华力微电子有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/26 | 分类号： | G01R31/26 |
| 代理公司： | 上海申新律师事务所 31272 | 代理人： | 俞涤炯 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种MOS管的阈值电压检测方法，包括以下步骤：步骤S1、提供一测试仪器，将所述测试仪器接地放电；步骤S2、将一MOS管与所述测试仪器电性连接；步骤S3、将所述MOS管的基极接地，向所述MOS管的漏极施加偏压Vd；步骤S4、向所述MOS管的栅极按一定步进施加电压Vgi，同时测试所述MOS管的所述漏极的电流Idi；步骤S5、根据Vgi和Idi，采用最小二乘法拟合，得到跨导值‑电流曲线，并根据所述跨导值‑电流曲线处理得到所述MOS管的阈值电压Vt；其中，i＝1、2、……、n，n为大于1的正整数。其优点在于，通过最小二乘法对MOS管的跨导值‑电流曲线进行拟合，与传统的两点直线法相比，减少了异常点对跨导值‑电流曲线的影响，使得检测获得的阈值电压精确。 | ||
| 搜索关键词： | 电流曲线 测试仪器 阈值电压检测 漏极 最小二乘法拟合 最小二乘法 阈值电压Vt 电性连接 基极接地 接地放电 施加电压 阈值电压 传统的 异常点 正整数 直线法 步进 拟合 施加 测试 检测 | ||
【主权项】：
1.一种MOS管的阈值电压检测方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、提供一测试仪器，将所述测试仪器接地放电；步骤S2、将一MOS管与所述测试仪器电性连接；步骤S3、将所述MOS管的基极接地，向所述MOS管的漏极施加偏压Vd；步骤S4、向所述MOS管的栅极按一定步进施加电压Vgi，同时测试所述MOS管的所述漏极的电流Idi；步骤S5、根据Vgi和Idi，采用最小二乘法拟合，得到跨导值‑电流曲线，并根据所述跨导值‑电流曲线处理得到所述MOS管的阈值电压Vt；其中，i＝1、2、……、n，n为大于1的正整数。
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