[发明专利]一种防生物污损CrN-Ag复合涂层及其制备方法在审
申请号: | 201811292333.0 | 申请日: | 2018-11-01 |
公开(公告)号: | CN109182990A | 公开(公告)日: | 2019-01-11 |
发明(设计)人: | 蒲吉斌;蔡群;王立平;张学东;王海新;卢光明;毛春龙;陈善俊;毛金根 | 申请(专利权)人: | 中国科学院宁波材料技术与工程研究所;江苏金晟元特种阀门股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/35 | 分类号: | C23C14/35;C23C14/06;C23C14/02 |
代理公司: | 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 | 代理人: | 单英 |
地址: | 315201 浙江*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明提供一种防生物污损CrN‑Ag复合涂层,由纳米晶CrN和Ag第二相组成,其中Ag的原子百分含量为9~25%。该复合涂层在保证硬度的同时具有良好的防生物污损性能,可用于苛刻工况,如海水等环境下的基体防护。本发明提供采用磁控溅射技术,选用Ag靶与Cr靶,以高纯氮气作为工作气体,在清洗后的基体表面沉积该CrN‑Ag复合涂层,通过调控Ag靶电流可控制所述复合涂层中的Ag含量,进而调控所述复合涂层的硬度和防生物污损性能。 | ||
搜索关键词: | 复合涂层 防生物污损 磁控溅射技术 高纯氮气 工作气体 基体表面 第二相 可控制 纳米晶 调控 可用 沉积 制备 清洗 防护 海水 保证 | ||
【主权项】:
1.一种防生物污损CrN‑Ag复合涂层,其特征是:由纳米晶CrN和Ag第二相组成,其中Ag的原子百分含量为9~25%。
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