[发明专利]一种硅片自分片传送定位系统在审

专利信息
申请号: 201811292666.3 申请日: 2018-11-01
公开(公告)号: CN109335707A 公开(公告)日: 2019-02-15
发明(设计)人: 万喜增;严云;黄笑容;郑六奎 申请(专利权)人: 浙江中晶新材料研究有限公司
主分类号: B65G59/06 分类号: B65G59/06;B65G43/08
代理公司: 北京众合诚成知识产权代理有限公司 11246 代理人: 韩燕燕
地址: 313100 浙江省*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供一种硅片自分片传送定位系统,包括安装架、上料提升机构、分片机构、传输机构及自定心机构,上料提升机构设置于安装架上,上料提升机构用于带动内部堆叠放置有若干硅片的片盒向上移动;分片机构分片机构设置于所述上料提升机构的后侧;传输机构设置于所述分片机构的后方;自定心机构设置于传输机构一端的上方;通过设置上料提升机构并在硅片承载台上形成硅片堆叠区,若干硅片自然堆叠在硅片堆叠区内并自下而上进行移动至分片机构下方,分片机构与硅片进行接触实现硅片的自动分片,同时由传输机构逐一连续式传输至自定心处实现自定心,解决了现有技术中采用手工放片的方式,工作效率较低,在人力和物力上浪费大的技术问题。
搜索关键词: 硅片 分片机构 提升机构 上料 传输机构 自定心机构 定位系统 安装架 自定心 堆叠 传送 堆叠放置 工作效率 硅片承载 向上移动 堆叠区 连续式 片盒 传输 移动
【主权项】:
1.一种硅片自分片传送定位系统,包括安装架(1),其特征在于,还包括:上料提升机构(2),所述上料提升机构(2)设置于所述安装架(1)上,该上料提升机构(2)用于带动内部堆叠放置有若干硅片(10)的片盒(28)向上移动;分片机构(3),所述分片机构(3)设置于所述上料提升机构(2)的后侧;传输机构(4),所述传输机构(4)设置于所述分片机构(3)的后方,位于片盒(28)最上方的硅片(10)经分片机构(3)通过接触摩擦传动方式将其自动传送至传输机构(4)上;以及自定心机构(5),所述自定心机构(5)设置于所述传输机构(4)一端的上方,硅片(10)由传输机构(4)以滚动传送方式将其转移至自定心机构(5)处实现该硅片(10)的自定心调整、定位。
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