[发明专利]多电极电子光学系统有效
| 申请号： | 201811293777.6 | 申请日： | 2014-11-14 |
| 公开（公告）号： | CN109637921B | 公开（公告）日： | 2021-10-26 |
| 发明（设计）人： | M.J-J.维兰德;W.H.乌尔巴努斯 | 申请（专利权）人： | ASML荷兰有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/02 | 分类号： | H01J37/02;H01J37/065;H01J37/12;H01J37/16;H01J37/24;H01J37/30;H01J37/317;G21K1/02;G21K5/04 |
| 代理公司： | 北京市金杜律师事务所 11256 | 代理人： | 王茂华 |
| 地址： | 荷兰维*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种适用于带电粒子光刻系统(10)的带电粒子束产生器(50)，该带电粒子束产生器包括：带电粒子源(52)，其用于产生沿着光轴(A)的带电粒子束(54)；准直器电极堆叠(70)，其用于准直该带电粒子束，其中该电极堆叠沿着光轴跨越准直器高度(Hc)；产生器真空腔室(51)，其用于容纳带电粒子源(52)和准直器电极堆叠(70)；以及至少一个真空泵系统(122、123)，其被设置在产生器真空腔室(51)内部离该准直器电极堆叠的外周边(85)一距离(ΔRp)处，其中至少一个真空泵系统跨越与光轴(A)基本上平行地定向的有效泵送表面(122a、123a)，并且其中该有效泵送表面具有跨越准直器高度(Hc)的至少一部分的表面高度(Hp)。 | ||
| 搜索关键词： | 电极 电子光学 系统 | ||
【主权项】：
1.一种适用于带电粒子光刻系统(10)的带电粒子束产生器(50)，该带电粒子束产生器包括：‑带电粒子源(52)，其用于产生沿着光轴(A)的带电粒子束(54)；‑准直器电极堆叠(70)，其用于准直该带电粒子束，其中该电极堆叠沿着光轴跨越准直器高度(Hc)；‑产生器真空腔室(51)，其用于容纳带电粒子源(52)和准直器电极堆叠(70)；以及‑至少一个真空泵系统(122、123)，其被设置在产生器真空腔室(51)内部离该准直器电极堆叠的外周边(85)一距离(ΔRp)处，其中至少一个真空泵系统跨越与光轴(A)基本上平行地定向的有效泵送表面(122a、123a)，并且其中该有效泵送表面具有跨越准直器高度(Hc)的至少一部分的表面高度(Hp)。
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