[发明专利]显示面板及其制造方法、显示终端有效
| 申请号： | 201811295217.4 | 申请日： | 2018-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN110783368B | 公开（公告）日： | 2022-10-18 |
| 发明（设计）人： | 崔志远 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | H01L27/32 | 分类号： | H01L27/32;H01L51/00;H01L21/77 |
| 代理公司： | 华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人： | 唐清凯 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明涉及显示器件技术领域，特别是涉及一种显示面板及其制造方法、显示终端。一种显示面板，可包括：柔性衬底，具有显示区和非显示区，所述非显示区包括扇出区；刻蚀阻挡层，覆盖所述柔性衬底的上表面；缓冲层，位于所述显示区中且覆盖所述刻蚀阻挡层的上表面；以及TFT器件层，设置在所述缓冲层之上且位于所述显示区中；其中，所述TFT器件层包括用于外接有源区的M3金属层，所述M3金属层由M3金属薄膜刻蚀形成；在所述扇出区中，所述M3金属薄膜覆盖所述缓冲层的上表面，以及所述M3金属薄膜与所述刻蚀阻挡层的刻蚀选择比大于等于10，以在形成M3金属层时，利用上述的刻蚀阻挡层对柔性衬底进行保护，进而有效避免柔性衬底被过刻蚀。 | ||
| 搜索关键词： | 显示 面板 及其 制造 方法 终端 | ||
【主权项】：
1.一种显示面板，其特征在于，所述显示面板包括：/n柔性衬底，具有显示区和非显示区，所述非显示区包括扇出区；/n刻蚀阻挡层，覆盖所述柔性衬底的上表面；/n缓冲层，位于所述显示区中且覆盖所述刻蚀阻挡层的上表面；以及/nTFT器件层，设置在所述缓冲层之上且位于所述显示区中；/n其中，所述TFT器件层包括用于外接有源区的M3金属层，所述M3金属层由M3金属薄膜刻蚀形成；在所述扇出区中，所述M3金属薄膜覆盖所述缓冲层的上表面，以及/n所述M3金属薄膜与所述刻蚀阻挡层的刻蚀选择比大于等于10。/n
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L27-00 由在一个共用衬底内或其上形成的多个半导体或其他固态组件组成的器件
H01L27-01 .只包括有在一公共绝缘衬底上形成的无源薄膜或厚膜元件的器件
H01L27-02 .包括有专门适用于整流、振荡、放大或切换的半导体组件并且至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的；包括至少有一个跃变势垒或者表面势垒的无源集成电路单元的
H01L27-14 . 包括有对红外辐射、光、较短波长的电磁辐射或者微粒子辐射并且专门适用于把这样的辐射能转换为电能的，或适用于通过这样的辐射控制电能的半导体组件的
H01L27-15 .包括专门适用于光发射并且包括至少有一个电位跃变势垒或者表面势垒的半导体组件
H01L27-16 .包括含有或不含有不同材料结点的热电元件的；包括有热磁组件的
