[发明专利]带有折射镜的可提高放大倍数的位移传感器及其测量方法在审

专利信息
申请号: 201811295959.7 申请日: 2018-11-01
公开(公告)号: CN109141257A 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 张白;张家坤;杨海涛 申请(专利权)人: 北方民族大学
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 代理人: 林辉轮;张玲
地址: 750021 宁夏回族*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 发明提供了一种带有折射镜的可提高放大倍数的位移传感器及其测量方法,该位移传感器包括激光源,用于发射出激光束,且所述激光束入射至三角波反射镜的一个反射面;反射镜组,包括至少两个反射镜,所述反射镜用于接收对应反射面反射的激光束,并使接收的激光束再次发生反射;所述反射面,使激光源发射的激光束或反射镜反射的激光束再次发生反射;折射镜,用于接收经反射面反射且不再被反射镜组接收的激光束,并使得激光束发生折射;光电探测器,用于接收经折射镜折射的激光束,并测量其入射位置。本发明通过折射镜的设置,降低激光入射至光电探测器的角度,因此位移传感器可以进一步提高位移测量精度。
搜索关键词: 激光束 折射镜 位移传感器 反射面 反射 反射镜 光电探测器 反射镜组 测量 激光源 入射 放大 折射 反射镜反射 入射位置 位移测量 发射 三角波 激光
【主权项】:
1.一种带有折射镜的可提高放大倍数的位移传感器,其特征在于,包括:三角波反射镜,包括至少三个反射面,所述至少三个反射面沿移动方向依次分布;激光源,用于发射出激光束,且所述激光束入射至三角波反射镜的一个反射面;反射镜组,包括至少两个反射镜,所述至少两个反射镜沿移动方向依次分布;每个所述反射镜至少对应一个所述反射面,所述反射镜用于接收对应反射面反射的激光束,并使接收的激光束再次发生反射;所述反射面,用于接收激光源发射的激光束或反射镜反射的激光束,并使接收的激光束再次发生反射;折射镜,用于接收经反射面反射且不再被反射镜组接收的激光束,并使得激光束发生折射;光电探测器,用于接收经折射镜折射的激光束,并测量其入射位置;处理系统,用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量,计算出被测物体的位移变化值。
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