[发明专利]带有折射镜的光路一致式位移传感器及其测量方法在审

专利信息
申请号: 201811295962.9 申请日: 2018-11-01
公开(公告)号: CN109141258A 公开(公告)日: 2019-01-04
发明(设计)人: 张白;张家坤;杨海涛 申请(专利权)人: 北方民族大学
主分类号: G01B11/02 分类号: G01B11/02
代理公司: 北京市领专知识产权代理有限公司 11590 代理人: 林辉轮;张玲
地址: 750021 宁夏回族*** 国省代码: 宁夏;64
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摘要: 发明提供了一种带有折射镜的光路一致式位移传感器及其测量方法,该带有折射镜的光路一致式位移传感器包括激光束,入射至三角波反射镜的第一反射面;反射镜,用于接收激光束被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束,且使该激光束在激光束入射至同一个第一反射面的测量过程中,沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面;折射镜,用于接收反射镜反射至三角波反射镜的第二反射面后经第二反射面反射的激光束,并使入射的激光束发生折射;光电探测器,用于接收经所述折射镜折射后的激光束,并测量其入射位置。本发明位移传感器,通过折射镜的设置,使得增加位移传感器放大倍数的同时,降低激光入射至光电探测器的角度。
搜索关键词: 激光束 折射镜 位移传感器 反射镜 反射面 三角波 入射 反射 光路 光电探测器 测量 折射 反射镜反射 测量过程 入射位置 同一路径 放大 激光
【主权项】:
1.一种带有折射镜的光路一致式位移传感器,其特征在于,包括:三角波反射镜,包括第一反射面和第二反射面;激光束,入射至三角波反射镜的第一反射面;反射镜,用于接收激光束被三角波反射镜的第一反射面反射的激光束,且使该激光束在激光束入射至同一个第一反射面的测量过程中,沿同一路径反射至三角波反射镜的第二反射面;折射镜,用于接收反射镜反射至三角波反射镜的第二反射面后经第二反射面反射的激光束,并使入射的激光束发生折射;光电探测器,用于接收经所述折射镜折射后的激光束,并测量其入射位置;处理系统,用于根据光电探测器接收到的激光束的入射位置变化量计算出被测物体的位移变化值。
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