[发明专利]探针台刚性传动装置及探针台显微镜调节系统在审
| 申请号： | 201811301244.8 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN109142798A | 公开（公告）日： | 2019-01-04 |
| 发明（设计）人： | 张文朋 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十三研究所 |
| 主分类号： | G01R1/02 | 分类号： | G01R1/02;G01R31/28 |
| 代理公司： | 石家庄国为知识产权事务所 13120 | 代理人： | 赵宝琴 |
| 地址： | 050051 河北*** | 国省代码： | 河北;13 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种探针台刚性传动装置及探针台显微镜调节系统，属于半导体测试技术领域，包括第一齿轮轴和与第一齿轮轴垂直的第二齿轮轴，第一齿轮轴一端装配第一锥齿轮，另一端装配第一联轴器；第二齿轮轴一端装配第二锥齿轮，另一端装配第二联轴器；第一锥齿轮和第二锥齿轮啮合。本发明提供的探针台刚性传动装置，借助锥齿轮传递动力和改变方向，具有可靠性高，运行稳定，成本低的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 齿轮轴 探针台 锥齿轮 装配 刚性传动 调节系统 显微镜 啮合 半导体测试 第一联轴器 传递动力 改变方向 运行稳定 垂直的 联轴器 | ||
【主权项】：
1.探针台刚性传动装置，其特征在于，包括：第一齿轮轴，一端装配第一锥齿轮，另一端装配第一联轴器；第二齿轮轴，与所述第一齿轮轴垂直，一端装配第二锥齿轮，另一端装配第二联轴器；所述第一锥齿轮和所述第二锥齿轮啮合。
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