[发明专利]一种精确可控的纳米孔制造方法有效
| 申请号： | 201811301885.3 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN109632899B | 公开（公告）日： | 2021-03-30 |
| 发明（设计）人： | 袁志山;雷鑫;王成勇 | 申请（专利权）人： | 广东工业大学 |
| 主分类号： | G01N27/26 | 分类号： | G01N27/26;B82Y40/00 |
| 代理公司： | 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 | 代理人： | 林丽明 |
| 地址： | 510006 广东省*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明涉及纳米加工的技术领域，更具体地，涉及一种精确可控的纳米孔制造方法，包括：安装第一电极丝和第二电极丝，所述第一电极丝的一端插入液腔中，所述第二电极丝的一端接触芯片上需形成纳米孔的位置；在所述第二电极丝的表面加工沟槽状的亲水结构，并采用盐溶液润湿第二电极丝的表面；第一电极丝的另一端以及第二电极丝的另一端通电在芯片的两端施加电压；当纳米孔的孔径不断扩大至所需孔径时，立即停止施加电压；清洗芯片并干燥。本发明不仅能实现纳米孔的精确定位，而且能实现所需孔径的纳米孔的精确制造，制造方法简单高效，适用范围广泛，解决了电击穿制造纳米孔无法精确定位、聚焦离子束制造孔径不稳定的难题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精确 可控 纳米 制造 方法 | ||
【主权项】：
1.一种精确可控的纳米孔制造方法，所述纳米孔开设于芯片上，所述芯片固定在液池中，所述液池设有填充有盐溶液的液腔；其特征在于，所述制造方法包括以下步骤：S10.安装第一电极丝和第二电极丝，所述第一电极丝的一端插入液腔中，所述第二电极丝的一端接触芯片上需形成纳米孔的位置；S20.在所述第二电极丝的表面加工沟槽状的亲水结构，并采用盐溶液润湿第二电极丝的表面；S30.第一电极丝的另一端以及第二电极丝的另一端通电在芯片的两端施加电压；S40.当纳米孔的孔径不断扩大至所需孔径时，立即停止施加电压；S50.清洗芯片并干燥。
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