[发明专利]一种测定涂胶显影机中涂胶显影槽平整度装置及其方法

摘要

本发明一种测定涂胶显影机中涂胶显影槽平整度装置及其方法，包括喷嘴，喷嘴的正下方设有设有卡盘，卡盘用于放置硅片；水平伸缩连接杆的两端分别设有第一距离传感器和第二距离传感器，第一距离传感器测量水平伸缩连接杆的一端到硅片的上表面的垂直距离以得到第一垂直距离，并将第一垂直距离数据传输至一远程连接的处理平台；第二距离传感器测量水平伸缩连接杆的另一端到硅片的上表面的垂直距离以得到第二垂直距离，并将第二垂直距离数据传输至远程连接的处理平台；处理平台根据第一垂直距离和第二垂直距离计算处理得到硅片的倾斜角；本发明大大解决了人为用水平仪测定误差较大，其结构简单，可以实现多点测试，降低测试误差。

主权项

1.一种测定涂胶显影机中涂胶显影槽平整度的装置，其特征在于，包括喷嘴(1)，所述喷嘴(1)的正下方设有设有卡盘(3)，所述卡盘(3)用于放置硅片(2)；所述水平伸缩连接杆(6)的两端分别设有第一距离传感器(7)和第二距离传感器(8)，所述第一距离传感器(7)测量所述水平伸缩连接杆(6)的一端到所述硅片(2)的上表面的垂直距离以得到第一垂直距离，并将所述第一垂直距离数据传输至一远程连接的处理平台(10)；所述第二距离传感器(8)测量所述水平伸缩连接杆(6)的另一端到所述硅片(2)的上表面的垂直距离以得到第二垂直距离，并将所述第二垂直距离数据传输至远程连接的所述处理平台(10)；所述处理平台(10)根据所述第一垂直距离和所述第二垂直距离计算处理得到所述硅片(2)的倾斜角。