[发明专利]一种镀膜设备及镀膜方法在审
| 申请号： | 201811303761.9 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN111206209A | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 辛科;杨立红 | 申请（专利权）人： | 北京铂阳顶荣光伏科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/02 | 分类号： | C23C14/02;C23C14/06;C23C14/24;C23C14/58 |
| 代理公司： | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人： | 许志勇 |
| 地址： | 100176 北京市大兴区北京*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明提供一种镀膜设备及镀膜方法，镀膜设备包括相连接的第一沉积腔室和第二沉积腔室，所述第一沉积腔室和第二沉积腔室均包括至少一排非金属蒸发源，每一排非金属蒸发源对应至少两排金属蒸发源，在每一排非金属蒸发源对应的金属蒸发源中，至少两排金属蒸发源相对于该排非金属蒸发源对称设置；其中，第二沉积腔室中的每排金属蒸发源的总数量为7个。本发明可生成厚度均匀、性能良好的CIGS薄膜，有效提高了太阳能电池的发电效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 设备 方法 | ||
【主权项】：
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