[发明专利]改善材料表面高温摩擦学行为的图案薄膜及其制备方法在审
| 申请号： | 201811305242.6 | 申请日： | 2018-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN109161857A | 公开（公告）日： | 2019-01-08 |
| 发明（设计）人： | 耿哲;刘阳;石皋莲;吴少华;黄华栋 | 申请（专利权）人： | 苏州工业职业技术学院 |
| 主分类号： | C23C14/32 | 分类号： | C23C14/32;C23C14/06;C23C14/02 |
| 代理公司： | 上海汉声知识产权代理有限公司 31236 | 代理人： | 胡晶 |
| 地址： | 215104 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种改善材料表面高温摩擦学行为的图案薄膜及其制备方法，薄膜表面图案为凸起高度为0.5mm的宽度0.3mm、长度5mm、沿径向夹角5°的条纹或边长0.6mm、沿径向排列的夹角为10°的正三角形，其制备方法包括如下步骤：(1)采用精铣雕刻机在不锈钢基材表面加工出若干凸起的条纹或正三角形图案；(2)将图案化的基材依次在丙酮、无水乙醇中清洗20分钟，并在干燥箱中烘干；(3)将基材置于多弧离子镀设备中，沉积TiAlN薄膜；(4)沉积过程结束后，待样品冷却至室温，将其取出，获得TiAlN图案薄膜；本发明制备的图案薄膜具有可以减轻粘着，平稳或降低高温摩擦系数，提高材料表面高温耐磨性的功能。 | ||
| 搜索关键词： | 图案薄膜 制备 正三角形 表面高温 改善材料 条纹 基材 凸起 沉积 摩擦 多弧离子镀设备 高温摩擦系数 图案 不锈钢基材 高温耐磨性 薄膜表面 表面加工 过程结束 径向夹角 径向排列 无水乙醇 样品冷却 雕刻机 干燥箱 夹角为 图案化 边长 烘干 丙酮 精铣 薄膜 清洗 取出 | ||
【主权项】：
1.一种改善材料表面高温摩擦学行为的图案薄膜，其特征在于，所述图案薄膜表面设有若干均布的凸起的条纹或正三角形，所述条纹的宽度0.1mm‑0.5mm、长度2mm‑7mm、沿径向夹角3°‑6°，所述正三角形的边长0.3mm‑0.9mm、沿径向排列的夹角为7°‑13°。
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