[发明专利]提高脉冲功能的高频功率发生装置有效
| 申请号： | 201811306714.X | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN110212762B | 公开（公告）日： | 2021-05-28 |
| 发明（设计）人： | 金钟云;全恩民;金英哲;金民材 | 申请（专利权）人： | 新动力等离子体株式会社 |
| 主分类号： | H02M3/158 | 分类号： | H02M3/158 |
| 代理公司： | 北京三幸商标专利事务所(普通合伙) 11216 | 代理人： | 刘卓然 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明涉及提高脉冲功能的高频功率发生装置，用于向等离子体负载供给高频功率，包括：整流器；直流‑直流变换器；射频功率放大器；射频功率控制器；以及直流‑直流变换器控制器；上述直流‑直流变换器控制器包括：第一减法器；第一比例积分控制器；第二减法器；第二比例积分控制器；比较器，通过比较上述第二比例积分控制器的输出和载波频率，来生成脉冲宽度调制信号，并向构成上述直流‑直流变换器的开关元件提供所生成的脉冲宽度调制信号；以及适应型控制器，从上述射频功率控制器接收与上述射频功率放大器的输出相对应的脉冲信号，来调整上述第一比例积分控制器及上述第二比例积分控制器的增益。 | ||
| 搜索关键词： | 提高 脉冲 功能 高频 功率 发生 装置 | ||
【主权项】：
1.一种提高脉冲功能的高频功率发生装置，用于向等离子体负载提供高频功率，包括：整流器，用于接收交流电源并进行整流；直流‑直流变换器，通过切换上述整流器的输出，来调节输出电压；射频功率放大器，对上述直流‑直流变换器的输出进行放大，来向上述等离子体负载传递脉冲波形的高频功率；射频功率控制器，用于控制上述射频功率放大器的输出及脉冲波形；以及直流‑直流变换器控制器，用于从上述射频功率控制器接收脉冲信号，来控制构成上述直流‑直流变换器的开关元件的占空比；上述直流‑直流变换器控制器包括：第一减法器，通过对从上述射频功率控制器接收的电压指令和上述直流‑直流变换器的输出电压进行比较来运算差异；第一比例积分控制器，用于对上述第一减法器的输出进行比例积分；第二减法器，通过对在上述第一比例积分控制器的输出和上述直流‑直流变换器的电感器中流通的电感器电流进行比较来运算差异；第二比例积分控制器，用于对上述第二减法器的输出进行比例积分；比较器，通过比较上述第二比例积分控制器的输出和载流子频率，来生成脉冲宽度调制信号，并向构成上述直流‑直流变换器的开关元件提供所生成的脉冲宽度调制信号；以及适应型控制器，从上述射频功率控制器接收与上述射频功率放大器的输出相对应的脉冲信号，来调整上述第一比例积分控制器及上述第二比例积分控制器的增益。
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