[发明专利]一种自动对焦的方法及系统

摘要

本发明公开了一种自动对焦的系统，包括低相干光源、光纤耦合器、参考臂光路系统、样品臂光路系统、电脑处理终端和光电探测器，所述参考臂光路系统包括第一准直镜和反射镜，所述第一准直镜和反射镜通过光线连接，所述样品臂光路系统包括相机、第二准直镜、半反半透镜和平场聚焦镜，所述第二准直镜通过半反半透镜的反射面与平场聚焦镜光线连接，所述相机用于接收所述半反半透镜的透射光；本发明基于迈克尔逊干涉仪原理设计了一种快速、精准的自动对焦的方法及系统，其对焦空间分辨率可达到微米级，使用直线运动的参考臂光路系统，能实现快速且连续的线阵光程扫描，同时受外界环境影响极小，可在各种明暗光线环境下正常使用，实用性较强。

主权项

1.一种自动对焦的系统，其特征在于：包括低相干光源、光纤耦合器、参考臂光路系统、样品臂光路系统、电脑处理终端和光电探测器，所述参考臂光路系统包括第一准直镜和反射镜，所述第一准直镜和反射镜通过光线连接，所述样品臂光路系统包括相机、第二准直镜、半反半透镜和平场聚焦镜，所述第二准直镜通过半反半透镜的反射面与平场聚焦镜光线连接，所述半反半透镜以45°的入射角反射第二准直镜的出射光，并将其反射至平场聚焦镜中，所述相机用于接收所述半反半透镜的透射光，所述光纤耦合器分别与低相干光源、第一准直镜、第二准直镜、光电探测器通过光纤连接，所述光电探测器与电脑处理终端相连接；低相干光源发出的光束进入光纤耦合器，光束按照10:90的分光比分成第一光束和第二光束，所述第一光束进入第一准直镜，所述第二光束进入第二准直镜；所述光电探测器用于捕捉产生在光纤耦合器中干涉信号峰，并将其转换为电信号传递给电脑处理终端；所述电脑处理终端根据迈克尔逊干涉仪干涉原理将所述电信号进行处理，根据处理结果调整所述相机的焦距。