[发明专利]真空状态下靶材厚度的检测方法在审
| 申请号： | 201811307206.3 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN109470131A | 公开（公告）日： | 2019-03-15 |
| 发明（设计）人： | 张诚 | 申请（专利权）人： | 三河市衡岳真空设备有限公司 |
| 主分类号： | G01B7/06 | 分类号： | G01B7/06;C23C14/35 |
| 代理公司： | 北京元合联合知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 11653 | 代理人： | 李非非;杨兴宇 |
| 地址： | 065200 河北省廊坊*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种真空状态下靶材厚度的检测方法，该检测方法包括：制定自检溅射工艺，其中溅射功率和工艺气体压强被设置为固定值；溅射设备和靶材首次配合使用时，启动溅射设备执行自检溅射工艺对靶材进行溅射直至靶材被击穿，记录执行过程中电压电流参数和靶材的厚度之间的对应关系，若靶材是导电靶材则电压电流参数是溅射电压和/或溅射电流，若靶材是不导电靶材则电压电流参数是射频溅射工艺产生的直流偏压；在溅射设备和靶材再次配合使用的过程中，当需要对靶材的厚度进行检测时启动溅射设备执行自检溅射工艺，在获得稳定的电压电流参数后根据电压电流参数和对应关系确定靶材的厚度。实施本发明可以在真空状态下快速准确地检测出靶材的厚度。 | ||
| 搜索关键词： | 靶材 电压电流参数 溅射设备 溅射 真空状态 检测 自检 对靶 压强 导电靶材 工艺气体 关系确定 溅射电压 溅射功率 射频溅射 直流偏压 不导电 击穿 记录 制定 | ||
【主权项】：
1.一种真空状态下靶材厚度的检测方法，该检测方法包括：针对靶材制定自检溅射工艺，在该自检溅射工艺中溅射功率和工艺气体压强被设置为固定值，其中，若所述靶材是导电靶材，则所述自检溅射工艺是直流溅射工艺，若所述靶材是不导电靶材，则所述自检溅射工艺是射频溅射工艺；所述靶材和溅射设备首次配合使用时，启动所述溅射设备执行所述自检溅射工艺对所述靶材进行溅射直至所述靶材被击穿，记录所述自检溅射工艺执行过程中电压电流参数和所述靶材的厚度之间的对应关系，其中，若所述靶材是导电靶材，则所述电压电流参数是所述靶材的溅射电压和/或溅射电流，若所述靶材是不导电靶材，则所述电压电流参数是所述射频溅射工艺产生的直流偏压；在所述靶材和所述溅射设备再次配合使用的过程中，当需要对所述靶材的厚度进行检测时启动所述溅射设备执行所述自检溅射工艺，在获得稳定的电压电流参数后根据该稳定的电压电流参数和所述对应关系确定所述靶材的厚度。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于三河市衡岳真空设备有限公司，未经三河市衡岳真空设备有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201811307206.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
