[发明专利]一种高过载保护的真空微电子压力传感器

摘要

本发明公开了一种高过载保护的真空微电子压力传感器，包括阴极弹性膜层、阳极弹性膜层和绝缘层，所述阴极弹性膜层带过载保护环，在阴极弹性膜层内设有真空微腔和硅微场致发射阴极锥尖阵列，其过载保护环与硅微场致发射阴极锥尖阵列一体化三维集成，在每个锥尖表面均覆盖有金刚石薄膜；所述阳极弹性膜层的上面设有引出电极和绝缘保护膜，在阴极弹性膜层与阳极弹性膜层之间安装有绝缘层。本发明的真空微电子压力传感器，具有过载自保护功能、温度稳定性好、灵敏度高、响应速度快、抗辐射、工作电压低、功耗小、体积小、性能稳定可靠等显著优点，可广泛应用于石油、化工、电力、仪器仪表、机械、汽车、智能结构、航空航天等领域。