[发明专利]一种具有气体净化系统的高洁净型镀膜机在审
| 申请号： | 201811307526.9 | 申请日： | 2018-11-05 |
| 公开（公告）号： | CN109182978A | 公开（公告）日： | 2019-01-11 |
| 发明（设计）人： | 刘同林;陈五一 | 申请（专利权）人： | 铜陵市超越电子有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/56 |
| 代理公司： | 合肥东信智谷知识产权代理事务所(普通合伙) 34143 | 代理人： | 凌云 |
| 地址： | 244000 安徽省铜陵市狮子山*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种具有气体净化系统的高洁净型镀膜机，包括真空镀膜机、用来给真空镀膜机中镀膜室抽真空的真空泵、与真空镀膜机中镀膜室相连通的进气阀，真空镀膜机的外部设置有用来净化输送到真空镀膜机中镀膜室的气体净化系统。所述具有气体净化系统的高洁净型镀膜机即使不在无尘车间使用，通过气体净化系统也能够保证输入到镀膜室内部的气体为无杂尘、无氧气体，从而满足镀膜工作需求。本发明无需制作费用高昂的无尘车间，操作简单方便。 | ||
| 搜索关键词： | 气体净化系统 真空镀膜机 镀膜机 无尘车间 镀膜室 洁净 镀膜 镀膜室抽真空 工作需求 外部设置 无氧气体 进气阀 室内部 真空泵 杂尘 净化 制作 保证 | ||
【主权项】：
1.一种具有气体净化系统的高洁净型镀膜机，包括真空镀膜机(10)、用来给真空镀膜机(10)中镀膜室抽真空的真空泵(11)、与真空镀膜机(10)中镀膜室相连通的进气阀(12)，其特征在于：所述真空镀膜机(10)的外部设置有用来净化输送到真空镀膜机(10)中镀膜室的气体净化系统。
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