[发明专利]一种激光剥蚀吹扫池有效
申请号: | 201811307937.8 | 申请日: | 2018-11-05 |
公开(公告)号: | CN109297800B | 公开(公告)日: | 2021-02-02 |
发明(设计)人: | 何康昊;杨雷;孙浩然;文明;陈俊光;姜飞;陈克琳 | 申请(专利权)人: | 中国工程物理研究院材料研究所 |
主分类号: | G01N1/44 | 分类号: | G01N1/44 |
代理公司: | 成都众恒智合专利代理事务所(普通合伙) 51239 | 代理人: | 唐健玲 |
地址: | 610200 四*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: | 本发明公开了一种激光剥蚀吹扫池及其使用方法,包括池体、采样头、箱体、样品盘、进样气路和吹扫气路,所述箱体设于池体下方;所述样品盘设置在池体内,样品盘的同一圆周上均匀设有多个样品托,样品托为圆柱体形通孔,底部焊接有架体;所述进样气路包括进样气管和两个样气阀;所述吹扫气路包括均设置在箱体内的气源和与气源相连的吹扫气管、辅助气管。其通过多通道吹扫气路联合采样头及电控样品盘的设计来提高待测物传输效率,并且在实现样品自动化批量分析的同时保证各待测样品在吹扫池内同一空间位置引入后端分析设备,消除了因为空间位置不同造成的传输效率差异,保证了平行样检测结果的均一性。 | ||
搜索关键词: | 一种 激光 剥蚀 吹扫池 | ||
【主权项】:
1.一种激光剥蚀吹扫池,包括池体(1)、采样头,其特征在于,还包括:箱体(7),所述箱体设于池体下方;样品盘(3),所述样品盘设置在池体内并能够以自身中轴线为轴自传,样品盘的同一圆周上均匀设有多个样品托(31),样品托为圆柱体形通孔,底部焊接有便于放置样品并能通气的架体(32);进样气路,所述进样气路包括贯穿池体设置的进样气管(4),及设置在池体外的进样气管端部的两个样气阀(41);所述采样头即纵向设置在池体内的进样气管上,并且采样头的进样口与位于其下方的样品托相对;所述池体顶壁与采样头相对的位置设有激光窗口;吹扫气路,所述吹扫气路包括均设置在箱体(1)内的气源(53)和与气源相连的吹扫气管(5)、辅助气管(51),所述吹扫气管上端与池体连通,所述辅助气管上端贯穿进入池体内样品盘下方并与采样头的进样口正对;所述吹扫气管上设有吹扫气阀门(54),所述辅助气管上设有辅助气阀门(55)。
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